Полиимиды классификация, синтез, структура, температурные переходы.

Содержание

Введение...………………………………………………………………………………………..3
1 Полиимиды: классификация, синтез, структура, температурные переходы ……………...5
 Классификация полиимидов…………………………………………………………….5
  Синтез полиимидов…………………………………………………………………….. 7
 Двухстадийный метод синтеза полиимидов……………………………….…...7
 Одностадийный метод синтеза полиимидов………………………….............12
 Структура ароматических полиимидов…………………………………………...…..16
 Молекулярная структура ароматических полиимидов…………………..…..16
 Надмолекулярная структура ароматических полиимидов………………...…17
 Температурные переходы в ароматических полиимидах……………………….…...22
2 Плазмохимическое травление полиимидных жертвенных слоёв…………………………28
2.1 Технология изготовления МЭМС с использованием жертвенных слоёв……….…28
2.2 Плазмохимическое травление полиимидов……………………………………….....35
 Травление полиимидных жертвенных слоёв……………………………………..….40
3 ИК-спектроскопия для анализа структуры полиимидных жертвенных слоёв………...…48
 3.1 Теоретические основы ИК-спектроскопии……………………………………..……48
 Виды и энергия колебания молекул…………………………………...………51
 Преобразование Фурье…………………………………………………………54
 Аппаратурное оформление метода…………………………………………...……..57
 Результаты исследования структуры полиимидных жертвенных слоёв…………62
Заключение……………………………………………………………………………….……..66
Список литературы……………………………………………………………………………..68
      
Введение
      
      Полиимиды - класс синтетических термостойких полимеров, содержащих в полимерных цепях циклические имидные группы, обычно образующиеся при поликонденсации ангидридов ароматических тетракарбоновых кислот с ароматическими диаминами.Полиимиды (ПИ) обладают выдающимся комплексом свойств: высокой термической, криогенной, радиационной стойкостью, огнестойкостью, отличными прочностными показателями в большом температурном диапазоне. Это обеспечивает им широкое применение в высокотехнологичных областях, таких как аэрокосмический комплекс, атомная энергетика, транспортное машиностроение, электроника, электротехника, и т.п.
      Наличие вариабельности свойств полиимидных плёнок при разных условиях получения и обработки полиимидного материала обусловило необходимость воспроизводимых технологий полиимидных пленок и покрытий с заданной характеристикой непосредственно в самом процессе изготовления устройства. Эффективным способом осуществления травления и структурной модификации полиимидной пленки является плазмохимическая обработка. Свойства полиимидов, которые обработаны плазмой, будут зависеть от используемых типов разрядов и характеристик проведения процесса, а также от структуры и химического состава исходного материала. 
      Инфракрасная (ИК) спектроскопия является одним основных методов анализа органических соединений. Современная ИК-спектроскопия представляет собой экспресс-метод установления структурных особенностей органических соединений. С помощью ИК-спектроскопии быстро и надёжно идентифицируются разнообразные функциональные группы: карбонильная, гидроксильная, карбоксильная, амидная, амино, циано и др., а также различные непредельные фрагменты: двойные и тройные углерод-углеродные связи, ароматические или гетероароматические системы. Методами ИК-спектроскопии изучают внутри- и межмолекулярные взаимодействия, например, образование водородных связей.Вариабельность свойств при различных условиях получения и обработки полиимидных материалов обуславливает необходимость воспроизводимого получения пленок и покрытий с заданными характеристиками непосредственно в технологическом процессе изготовления устройств микросистемной техники. Использование промышленных полиимидных пленок ограничено из-за сложностей в обеспечении контролируемости и воспроизводимости процессов их утонения.
      Цель работы: обобщение литературных данных о полиимидных пленках, применяемых в качестве «жертвенных» слоёв при производстве МЭМС.
      В связи с этим поставлены следующие задачи:
      В первом разделе рассмотреть классификацию, синтез, структуру и температурные переходы полиимидов.
      Во втором разделе рассмотреть процесс плазмохимического травление полиимидных жертвенных слоёв.
      В третьем разделе описать методы ИК-спектроскопии для анализа структуры органических соединений, в частности, полиимидных «жертвенных» слоёв.
      
      
      
      
















	

           1 Полиимиды: классификация, синтез, структура, температурные переходы
           
           1.2 Классификация ароматических полиимидов
           
           Ароматические полиимиды – твердые, негорючие вещества с плотностью (1,35-1,48 г/см3), находящиеся в стеклообразном состоянии. Молекулы ПИ - это симметричные, плоские циклические структуры с обычными длинами связей и валентными углами. Макромолекулы ароматических ПИ образуются соединениями аримидных группировок с другими ароматическими группировками с помощью одинарных химических связей и шарнирных атомов и групп. ПИ характеризуются высокой термостойкостью и устойчивостью к действию ?-лучей, быстрых электронов и нейронов, мало изменяют свои свойства в диапазоне температур от 33 до 533 К и выдерживают кратковременный нагрев до температуры 673 К.[2]
           Благодаря развитию методов синтеза тетракарбоновых кислот появилась возможность синтезировать ароматические ПИ, исходя из различных диангидридов ароматических тетракарбоновых кислот и различных ароматических диаминов. Их строение повторяющихся звеньев может быть представлено общей формулой (Рис. 1.1.), где Q и R различные ароматические группировки.
           
           
           Рис. 1.1 - Строение повторяющихся звеньев ПИ [2]
           
           Варьирование группы Q и R позволяет в широких пределах изменить химическое строение ПИ. [2]
           Общие связи между особенностями свойств ПИ и химическим строением мономерного звена можно установить, если разделить ПИ на несколько групп, приняв за основу классификации наличие или отсутствие гетероатомов (например О или S) и различных группировок атомов между ароматическими кольцами и их положение относительно имидных циклов. Они разрывают цепь сопряжения и играют роль внутренних “шарниров”, допускающих возможность взаимного вращения соседних жестких элементов макромолекулы.
           А- ПИ, состоящие только из ароматических групп и имидных циклов.
           Б- ПИ, имеющие шарниры в диангидридном фрагменте полимерной цепи.
           В- ПИ, содержащие шарнирные атомы и группы в диамином фрагменте макромолекулы
           Г- ПИ, содержащие шарнирные атомы и группы одновременно в диангидридном и диамином фрагментах полимерной цепи.[2]
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           

           1.2 Синтез полиимидов
           
           1.2.1 Двухстадийный метод синтеза полиимидов
           
           В промышленности процесс получения линейных ПИ обычно состоит из двух этапов. На первом этапе получают растворимый промежуточный продукт (преполимер или форполимер) – полиамидокислоту или ее производные, например, эфиры. На втором этапе производится реакция циклизации (имидизации) преполимера с образованием неплавного и нерастворимого линейного ПИ и выделением воды. Реакцию имидизации обычно проводят термическим способом, хотя в отдельных случаях используют химический метод. [7]
           На первом этапе проводят синтез полиамидокислоты (Рис. 1.2).
           
           Рис. 1.2 - Двустадийный метод получения ПИ [2]
           
           Синтез растворов полиамидокислот проводят следующим образом: к раствору ароматического диамина (в качестве растворителей диаминов обычно используют диметилформамид (ДМФА), N,N'-диметилацетамид, N-метилпиррол и другие) в сильно полярном растворителе небольшими порциями при перемешивании прибавляют эквимолекулярное количество (или с избытком в 1-5 %) сухого диангидридатетракарбоновой кислоты, получая вязкий 10-25%-ный раствор полиамидокислоты.
           Синтез полиамидокислоты является бимолекулярной реакцией ацилирования аминов, заключающийся в нуклеофильной атаке аминогруппы, приводящей к раскрытию ангидридного цикла с образованием полимера полиамидокислоты.
           Для снижения скорости обратной реакции растворы полиамидокислот хранят при температурах не выше 0 0C, а также получают их соли или эфиры.
           Вторую стадию - имидизацию - циклизацию с образованием имидных циклов - осуществляют термически или каталитически (химически) (Рис. 1.2.).
           Термический метод имидизации заключается в прогреве высушенной полиамидокислоты при плавном или ступенчатом подъеме температуры, в нагревании раствора полиамидокислоты или чаще сформованной из нее пленки или волокна, а также порошка в вакууме или инертной атмосфере с повышением температуры примерно до 300-3500C. При этом степень полимеризации полимера сначала уменьшается (при 100-1500C), а затем при более высоких температурах вновь возрастает, что обусловлено протеканием полициклоконденсации по концевым амино- и ангидридным группам.
           Обработка полиамидокислот смесями ангидридов карбоновых кислот (чаще уксусного) и третичных или гетероциклических аминов (триэтиламином, пиридином, хинуклидином) позволяет проводить каталитическую циклизацию при 20-1000C и получать ПИ со степенью полимеризации практически такой же, как у исходных полиамидокислот. По окончании каталитической циклизации ПИ в ряде случаев подвергают кратковременной термообработке при 300-3500C. При действии на полиамидокислоты таких соединений, как N,N'-дициклогексил-карбодиимид или ангидрид трифторуксусной кислоты, образуются полимеры с изоимидными (иминолактонными) циклами (IV) которые при повышенных температурах превращаются в более термически и химически устойчивые имидные циклы (Рис. 1.3.).
           
           
           Рис. 1.3 - Термически и химически устойчивые имидные циклы [4]
           
           Для процесса циклизации полиамидокислот при нагревании наиболее характерной особенностью является резкое падение скорости превращения на некотором уровне степени имидизации, зависящем от температуры опыта. Схематическое изображение изотерм циклизации полиамидокислоты при двух температурах опыта дано на Рис. 1.4.
           
           
           Рис. 1.4 - Схематическое изображение изотерм циклизации полиамидокислот (а) зависимости констант скорости k от степени циклизации i (б) при температурах Т1 (1) и Т2 (2) (Т2 > Т1) [1]
           
           Химический метод позволяет получить более термостабильные ПИ, чем термический.
           Процесс имидизации можно контролировать по изменениям, происходящим инфракрасных или ультрафиолетовых спектрахполиамидокислоты, а также по выделению в процессе имидизации воды. [5]
           Синтезировать ароматические ПИ возможно при методах, сочетающих процессы поликонденсации с последующей полимеризацией по реакционноспособным двойным или тройным связям. В одном из таких методов используют низкомолекулярные полиамидокислоты, содержащие в качестве концевых групп реакционноспособные алициклические соединения. Например очень удобен монометиловый эфир 5-пербонен-2,3-дикарбоновой кислоты. В этом случае получается преполимер с молекулярной массой 1000-1300 следующего строения (Рис. 1.5.):
           
           
           
           
           Рис. 1.5 - Структурная формула ПИ полученного сочетанием процессов поликонденсации с последующей полимеризацией по реакционноспособным двойным или тройным связям [1]
           
           Этот полимер способен отверждаться по полимеризационному механизму и используется для получения композиционных термостойких полиимидных материалов.
           Кроме прямого взаимодействия диангидридовтетракарбоновых кислот с диаминами, известны другие способы синтеза ПИ, а также предложены модификации процесса двухстадийного синтеза. Одним из способов получения ароматических ПИ, имеющим практическое значение, является взаимодействие диангидридовтетракарбоновых кислот с различными диизоционатами в полярных растворителях по уравнению (Рис. 1.6):
           
           
           Рис. 1.6 - Взаимодействие диангидридовтетракарбоновых кислот с различнымидиизоционатами в полярных растворителях [1]
           
           Полимеры получаются с высокими выходами и по свойствам не отличаются от ароматических полиимидов, получаемых обычным двухстадийным способом. [1]
           Модификации двухстадийного процесса синтеза ароматических ПИ используются, например, вследствие неустойчивости растворов полиамидокислот при их хранении при комнатной температуре. Так, вместо диангидридовтетракарбоновых кислот в реакции с диаминами используют дихлорангидриды эфиры тетракарбоновых кислот (Рис. 1.7):
           
           
           Рис. 1.7 - Взаимодействие дихлорангидридов эфиров тетракарбоновых кислот с диаминами [4]
           
           Модифицированнаяполиамидокислота отличается стойкостью к гидролизу и может длительное время храниться в растворе при комнатной температуре. При этом молекулярные массы образующихся ароматических ПИ выше, чем у тех, которые получают обычным двухстадийным способом. [4]
           
           1.2.2 Одностадийный метод синтеза полиимидов
           
           Существует одностайдиный метод получения ароматических ПИ. С его помощью можно получить растворимые и (или) плавкие ПИ, которые можно перерабатывать после циклизации. Их получают полициклоконденсацией в высококипящих растворителях (м-крезол, нитробензол) при 473-483 К. Для получения высокомолекулярных ПИ необходимо тщательно удалять выделяющуюся при реакции H2O; этот процесс ускоряется в присутствии карбоновых кислот или их амидов, третичных и гетероциклических аминов, кислот Льюиса.
           Эквимолекулярную смесь исходных веществ в растворителе быстро нагревают до 473-483 К в токе инертного газа и выдерживают при этой температуре 3-10 часов. Рост полимерной цепи (образование полиамидокисоты) и внутримолекулярная циклизация протекают практически одновременно. [3]
           ПИ получают также взаимодействием диангидридовтетракарбоновых кислот и диизоцианатов по схеме (Рис. 1.8.):
           
           Рис. 1.8 - Взаимодействием диангидридовтетракарбоновых кислот и диизоцианатов [3]
           
           Реакцию проводят в ДМФА или N,N-диметилацетамиде в присутствии третичных аминов или карбоновых кислот. Наибольшее применение этот способ получил при синтезе полиамидоимидов - полимеров, содержащих в цепи имидные циклы и амидные группы. Их получают из трикарбоновых кислот или их производных, например, тримеллитового ангидрида. По свойствам они близки ПИ, за исключением термостойкости, которая на ~50°С ниже, чем у полиимидов. [3]
           Существует односторонний способ получения ароматических ПИ на основе дитиоангидридапиромеллитовой кислоты (Рис. 1.9.) и ароматических диаминов в полярных растворителях. В процессе реакции образующийся полимер выпадает в осадок, а сероводород выделяется в свободном виде. [7]
           
           Рис. 1.9 - Структурная формула пиромеллитовой кислоты [1]
           
           Ароматические ПИ могут быть получены из дииминовтетракарбоновых кислот методом аддитивной полимеризации с переносом водорода. Реакция ведется в полярных растворителях при Т = 373 К в присутствии катализатора – трет-бутоксида натрия и ингибитора радикальной полимеризации дивинилсульфона-N-?-нафтиамина. При этом образуются линейные ПИ (Рис. 1.10.):
           
           
           Рис. 1.10 - Получение ароматических ПИ из дииминовтетракарбоновых кислот методом аддитивной полимеризации с переносом водорода [1]
           
           Получаемые полимеры неплавки и растворимы только в концентрированной серной кислоте.
           Ароматические ПИ могут быть также получены миграционной сополимеризацией ароматических диимидовтетракрбоновых кислот с различными диаминами.
           Способом получения ароматических ПИ является метод межфазной поликонденсации N,N’-ди (карбоэтокси)-пиромеллитдиимида (Рис. 1.11.) в растворе метиленхлорида с различными диаминами в водно-щелочной среде (в присутствии Na2CO3). Реакция проходит на границе раздела фаз с образованием полимерной пленки. Особенно легко реагируют алифатические диамины. [5]
           
           
           Рис. 1.11 - Структурная формула N,N’-ди (карбоэтокси)-пиромеллитдиимида [1]
           
           Существует еще один способ получения полностью ароматических гетероциклических ПИ. Для этой цели использована реакция хлорангидридатриметиллитовой кислоты и ортодизамещенных ароматических диаминов. Наличие различных гетероциклов (бензоксазольных, бенатиазольных, бензимидазольных, бензоксазиноновых) в цепи ПИ открывает большие возможности в варьировании свойств получаемых полимеров. [1]
           
           
           
           
           
           
           
           
           

           1.3 Структура ароматических полиимидов
           
           1.3.1 Молекулярная структура
           
           Молекулы ПИ - это симметричные, плоские циклические структуры с обычными длинами связей и валентными углами. Макромолекулы ароматических ПИ образуются соединениями аримидных группировок с другими ароматическими группировками с помощью одинарных химических связей и шарнирных атомов и групп. Геометрические размеры (средняя длина связей и валентные углы) наиболее распространенных «соединительных» элементов показаны на Рис. 1.12.
           
           
           Рис. 1.12 - Геометрические размеры ‘соединительных’ элементов [1]
           
           Длина связей и углы практически не меняются при замещении атомов водорода у атомов азота и углерода на другие атомы и группы атомов. При детальном рентгеноконструктурном анализе кристаллов модельных имидных соединений отмечается ряд небольших, но устойчивых аномалий: отклонение карбонильных атомов кислорода от общей плоскости, неравенство длин связей С=О в одном и том же имидном цикле, укороченные межмолекулярные расстояния С=О…С=О и другие. Эти аномалии связаны со спецификой упаковки данных молекул в кристаллической решетке и возникновением между ними сильных нехимических взаимодействий.
           Молекулярно-массовые характеристики растворимых ПИ, полученных одностадийным и двустадийным методами, практически одинаковы. Для ПИ характерно узкое, иногда очень узкое молекулярно-массовое распределение.
           Полиимидные макромолекулы очень гибки, параметр ? (относительная равновесная жесткость) для них существенно ближе к единице, чем для многих карбоцепных полимеров (для сравнения: у полиэтилена ?=2.3 ? 2.4, у полистирола ?=2.2 ? 2.4, у этилцеллюлозы ?=4). Физической причиной высокой гибкости полиимидных цепей является большая свобода вращения фенильных циклов, примыкающих к внутренним атомным шарнирам. Это было показано прямым теоретическим расчетом энергии фрагментов типа, показанного на Рис. 1.13., в зависимости от углов ? и ? поворотов циклов относительно плоскости Сар—Х—Сар.
           
           Рис. 1.13 - Фрагмент макромолекулы [1]
           
           При слабом взаимодействии с растворителем макромолекула сворачивается в плотный непроницаемый клубок. При сильном взаимодействии клубок набухает. Эффект связан с необычно большими (по сравнению с карбоцепными полимерами) размерами и массой M0 повторяющихся звеньев. В результате даже при сравнительно высокой массе всей макромолекулы (М > 10000) число звеньев в цепи может быть недостаточным для того, чтобы она могла свернуться в плотный гауссов клубок. [1]

           1.3.2 Надмолекулярная структура
           
           ПИ имеют неоднородную надмолекулярную структуру. В них последовательно чередуются кристаллические участки и участки, менее упорядоченные. Об этом свидетельствуют различия в деформируемости кристаллической решетки и всего образца. Чередование кристаллических и менее упорядоченных участков строго периодическое. Длину большого (среднюю сумму длин кристаллического и разупорядоченного участков) периода оценивают в 150-230 ?. Полиимидные макромолекулы в кристаллитах не складываются, но полиимидные монокристаллы также могут быть получены.
           Как видно из схемы на Рис. 1.14. оси макромолекул перпендикулярны плоскости ламели. По ее толщине укладывается три пиромеллититмидных повторяющихся звена. Каждое четвертое звено нециклизованно и образует складку, позволяющую следующим трем имидным звеньям расположиться параллельно предыдущим. Складка не может быть образована из зациклизованных звеньев.
           
           Рис. 1.14 - Схема укладки макромолекул полимера пиромеллитимид в складчатых монокристаллах. Толщина ламели равна 56 ?. Длина пилопиромеллитимидного звена равна 18? [1]
           
           Структуру ПИ можно охарактеризовать как высокоориентированную, кристаллическую, с очень высокой упорядоченностью вдоль и меньшей упорядоченностью в поперечном направлении.
           Наиболее вероятное расположение молекул в кристаллической решетке изображено на Рис. 1.15. 
           
           Рис. 1.15 - Кристаллическая структура ПИ [1]
           
           Диангидридные (А) и диаминные (Б) фрагменты разных молекул располагаются в чередующихся слоях, параллельно плоскости ab. Укладка циклов в слоях паркетная, объемно-центрированная. Плоскости циклов А повернуты на угол 60о к направлению а. Плоскости циклов А и В развернуты друг относительно друга на угол 90о. Упаковка пиромеллитимидных циклов в слоях Аплотнейшая. Упаковка в слоях В более рыхлая, допускающая значительные независимые повороты отдельных фенильных циклов.
           У ПИ, как и у любых полимеров, макромолекулы укладываются в решетку в наиболее вытянутых конформациях, допустимых для изолированных цепей. Для ПИ группы А это единственно возможные для них стержневидныеконформации. Для ПИ группы Б все определяется стерическими условиями для шарниров: если примыкающие к ним циклы могут располагаться в одной плоскости,то в решетке реализуется плоская конформация в виде плоских коленчатого вала или зигзага с неравными отрезками; если же вследствие стерических препятствий плоскости циклов у шарниров не могут совпадать, то скелет цепи в решетке представляет собой сильно вытянутую спираль. Возможны также конформации типа неплоского зигзага с неравными отрезками. Основная конформация макромолекул в кристаллической решетке для ПИ группы В - плоский зигзаг с равными или неравными отрезками. Для макромолекул ПИ группы Г – это спирали и неплоские зигзаги.
           Способность ПИ кристаллизоваться определяется симметрией вытянутых конформаций.
           Характерной и уже отмечавшейся особенностью кристаллического состояния ароматических ПИ является его необратимость: после плавления оно снова не восстанавливается, образец остается аморфным. [1]
           Коэффициенты упаковки ПИ и их производных в кристаллическом (Кк) и аморфном (Ka) состоянии по данным для 60 полимеров практически постоянны. В среднем Кк = 0.76 ± 0.01 и Ка = 0.683 ± 0.002.
           Для всех ПИ и их производных отношение плотности в кристаллическом состоянии ?к к плотности в аморфном состоянии ?аодинаково и составляет ?к/?а =1.11±0.02. Постоянство средних коэффициентов упаковки Ка и Кк и отношения ?к/?асущественно облегчает определение степени кристалличности полиимидных образцов по измерениям плотности. Дело в том, что во многих случаях либо не известна величина ?к, либо трудно получить аморфный образец и определить ?а, либо неизвестны ни ?к, ни ?а. Такая ситуация часто встречается в практике работы с новыми классами полимеров. При известных постоянных Ка, Кк и ?к/?а объемная степень хv кристалличности может быть рассчитана по формуле (3.1):
            (3.1)
           Для определения хv по последней формуле достаточно знать плотность ? образца и химическую формулу полиимида.
           Анализ многочисленных данных о плотности изотропных плёнок ПИ и их производных, полученных методом термической циклизации, показал, что в этих условиях наблюдаются следующие особенности.
            Ароматические ПИ групп А, Б и В всегда получаются частично кристаллическими; ПИ группы Г могут получаться кристаллическими и аморфными; степень кристалличности не превышает 50%.
            Полиэфиримиды и полиэфирамидоимиды всегда частично кристалличны; степень кристалличности 70%.
            Лестничные производные ПИ – поллипироны – не кристаллизуются.
           По величинам ?к и ?а можно определить, что степень кристалличности ПИ колеблется от 25 до 80%.
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           1.4 Температурные переходы в ароматических полиимидах
           
           Основная информация о релаксационных переходах в полиимидах получена механическим и диэлектрическим динамическими методами. К настоящему времени у всех ароматических ПИ твердо установлено существование трех основных релаксационных переходов: высотемпературного (?), среднетемпературного (?) и низкотемпературного (?). Уровень механических потерь в ?- и ?-максимумах зависит от степени кристалличности, а в ?- максимуме — от содержания адсорбированной влаги. Для хорошо высушенных образцов ?-переход не наблюдается.
           Все три перехода в обычных условиях удается наблюдать отчетливо и надежно только для ПИ группы Г. В этом случае переходы хорошо воспроизводятся при прямом и обратном температурном ходах. Их положение по температуре и частоте практически не зависит от предыстории образца.
           У ПИ главный высокотемпературный релаксационный переход – ?. Температура максимума ?- потерь всегда близка к температуре размягчения полиимида Т?700 К. В области ?-перехода резко изменяются все механические свойства. Переход наблюдается в узкой области температур; модуль упругости при ?-переходе изменяется на несколько порядков; для перехода характерна большая величина эффективной энергии активации; при кристаллизации ?-максимум не смещается, но уровень потерь снижается
           У полипиромеллитимида ПМ и других ПИ группы В ?-переход приходится на область более высоких температур, где достаточно быстро происходят деструкция и сшивка. Часто к изменениям химической структуры добавляется кристаллизация. Эти факторы приводят к тому, что механические потери в области ?-перехода необратимо меняются в процессе опыта, даже если он проводится в инертной среде, а положение максимума на шкале температур – зависящим от условий опыта и предыстории образца.
           У ПИ группы Б ?-переход смещён в область ещё более высоких температур. Для ПИ ДФ-Б он должен быть, судя по расчётным оценкам температуры размягчения, примерно 750 К.
           Низотемпературный ?-переход наблюдается только в присутствии адсорбированной влаги и имеет «примесное» происхождение. Судя по величинам энергии активации U?=40 ?60 кДж/моль (10-15 ккал/моль), он обусловлен мелкомасштабной подвижностью.
           Процесс ?-релаксации у полиимидов проявляется в очень большом диапазоне температур. Это свидетельствует о широком распределении времён релаксации и сложном происхожденни процесса. Умеренная численная величина активации U? говорит о локальном характере молекулярной подвижности в области ?-перехода. В отличии от ?-процесса он связан с упругими и прочностными свойствами полиимидов. Механические ?-потери у аморфного образца ПИ больше, чем у кристаллического. Величина потерь в максимуме снижается после предварительного прогрева образца при 600—700 К. ?-релаксация в полиимидах имеет не «примесное» происходжение, а обусловлена особенностями химического строения собственно полиимидных цепей. ?-релаксацию в ПИ можно связывать с колебательной подвижностью ароматических и бензимидных циклов. [1]
           Температуры главных физических переходов – размягчения (Тр) и плавления (Тпл) – определяют верхнюю границу теплостойкости и являются особенно важными физическими показателями, когда речь идет о термостойких полимерах.
           На Рис. 1.17. изображены температурные зависимости модуля Юнга для ПИ всех групп с разной степенью кристалличности х изображенных на Рис. 1.16.:

           

           Рис. 1.16 - Структурные формулы рассматриваемых ПИ и их степень кристалличности [1]
 
           Рис. 1.17 - Температурные зависимости модуля Юнга Е для ПИ разных классификационных групп. Цифрами обозначены ПИ приведенные на рисунке 4.1[1]
           
           ПИ группы А имеют очень слабую зависимость модуля от температуры. Вплоть до 800 К на ней нет перегибов, свидетельствующих о размягчении или плавлении. Нет признаков этих переходов и у ПИ группы Б. На температурных зависимостях модуля Юнга ПИ группы В имеются перегибы (отмечены стрелками) указывающие на наличие переходов. Но переходы выражены слабо. Они маскируются побочными эффектами, возникающими при высоких температурах - сшиванием и кристаллизацией – и после нагревания до 600-700 К могут ослабевать, смещаться и вообще исчезнуть.
           Характерным примером ПИ группы А является широко известный полипиромеллитимид (Рис. 1.18), применяемый для изготовления пленок Kapton (США) и ПМ (РФ). Для него приводятся величины Тр от 600 до 775 К и отмечается, что они определяются термической предысторией образцов. Наиболее обоснованной следует считать величину Тр=650 К.
           
           
           
           Рис. 1.18 -  Структурная формула полипиромеллитимида [1]
           
           В отличие от всех предыдущих случаев у ПИ группы Г переходы размягченное (высокоэластическое) и вязкотекучее (расплав) состояние наблюдается вполне четко. На рисунке они отмечены стрелками с индексами Тр и Тпл. При нагревании до 600-700 К ПИ группы Г также сшиваются. Это проявляется в виде смещения Тр в сторону больших температур, повышения модуля упругости в высокоэластическом состоянии, повышения вязкости расплава и других эффектов. [1]
           До 300 оС (573 К) ПИ не претерпевает никаких изменений своей химической структуры и физико-химических свойств в течении длительного времени, для многих образцов – годами. [1]
           В интервале 300-500оС (573-773 К) полиимидные материалы могут сохранять свои свойства ограниченное время, которое по ряду показателей экспоненциально уменьшается с ростом температуры. При температурах 450-500оС (723 -773 К) довольно быстро происходят трансформация химической структуры полимера. Выше 500оС (773 К) можно лишь условно говорить о кратковременном сохранении свойств полиимидных материалов и изделий на их основе. В целом этот температурный интервал характеризуется бурным развитием высокотемпературных реакций. В зависимости от условий в ПИ могут протекать окислительные и гидролитические деструкционные реакции, реакции термодеструкции, структурирования, карбонизации и графитизации.
           В интервале температур 500-900оС (773-1173 К) по внешнему виду термолизованные пленки отличаются от обычной лишь по интенсивности окраски: по мере повышения температуры термолиза цвет пленки меняется от желтого до черного, проходя все оттенки оранжево-коричневого цвета. После обработки пленки выше 700оС (973 К) на ней появляется металлический блеск, усиливающийся при дальнейшем повышении температуры. По данным элементного анализа, в интервале температур 500-900оС (773-1173 К) наблюдается значительное понижение содержания кислорода и водорода в образцах (Рис. 1.19.).
           
           Рис. 1.19 - Относительное изменение массы ПИ (1) и его элементного состава от температуры термолиза: С (2), О (3), Н (4), N (5). [1]
           
           Наличие шарнирных групп одновременно вдиамином и диангидридном фрагментах цепи значительно понижают температуру стеклования полимеров до 400-410 К. [1]
           При анализе зависимостей физических свойств полимеров от температуры и времени широко используется информация о характеристиках и механизмах температурных переходов, их так же ещё называют релаксационными переходами.
           
           
           
           
           
           
       Плазмохимическое травление полиимидных жертвенных слоёв
      
       Технология изготовления МЭМС с использованием жертвенных слоев
      
      Сегодня на рынке микроэлектромеханических систем (МЭМС) представлено достаточно большое число видов таких устройств.
      При производстве микромеханических устройств на основе многоуровневых структур используют различные методы получения микрозазоров [8]. Наибольшее предпочтение при этом отдается использованию технологии селективного "сухого" ВЧ-плазменного травления "жертвенного" слоя. В качестве такого слоя обычно используют органические полимерные покрытия, в частности, полиимидные, толщиной порядка нескольких микрометров. "Жертвенный" слой, располагающийся между неорганическими функциональными слоями или слоистыми структурами, вытравливается, обеспечивая образование зазора требуемого значения при сохранении заданной структуры функциональных слоев.
      Одним из наиболее перспективных и динамично развивающихся направлений в области микроэлектромеханических систем (МЭМС), и в особенности чувствительных элементов (ЧЭ) инерциальных датчиков, является использование технологии кремний-на-изоляторе (КНИ) при их изготовлении. Десятки крупнейших мировых лидеров электронной индустрии объединились в "SOI INDUSTRY CONSORTIUM" [9] для продвижения этой технологии на производстве. Технология основана на использовании трехслойной подложки со структурой кремний - неорганический диэлектрик - кремний вместо обычно применяемых монолитных кремниевых пластин. Подложка, выполненная по технологии КНИ, схематическое изображение которой приведено на рис. 2.1, представляет собой трехслойный пакет, который состоит из монолитной кремниевой пластины, диэлектрика и размещенного на нем поверхностного слоя кремния. 
      
      Рисунок 2.1 Структура подложки КНИ.[9]

      В качестве диэлектрика обычно выступает диоксид кремния SiO2. Процесс изготовления ЧЭ инерциальных датчиков [10], схема которого представлена на рис. 2.2, заключается в формировании различных элементов в поверхностном кремниевом слое с последующим удалением (вытравливанием) слоя SiO2 из-под тех элементов, которые должны быть подвижными в процессе эксплуатации устройства (рис. 2.2). 
      
      Рисунок 2.2. Схема изготовления компонентов МЭМС по технологии КНИ.[9]

      Таким образом, слой диоксида кремния является "жертвенным", а поверхностный кремниевый слой — функциональным (структурным) и, вместе с тем, выполняющим роль маски при вытравливании "жертвенного" слоя. Для сокращения времен.......................